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Luftfilter für die Mikroelektronikindustrie
Halbleiterfertigungsverfahren erfordern oft sehr reine Luft und mit Sicherheit steigen diese Anforderungen künftig weiter. Die Elektronikindustrie braucht z. B. für ihre VLSI-Fertigung eine sehr reine Fertigungsumgebung. Die Strukturbreite ist üblicherweise kleiner als 1 µm; es gilt also eine mögliche Partikelkontamination bis zu 0,1 µm zu kontrollieren.
Das "Herz" eines jeden Reinraums ist der Filter; andere Faktoren, die zu beachten sind, sind Raumklassifizierung, Filterwahl und der Einfluss der Filter auf die Umgebung.
Camfil Farr ist als der führende Hersteller von Hochleistungsfiltrationsprodukten für die Mikroelektronikindustrie bekannt. HEPA/ULPA-Filter stellen wir in kontrollierter Umgebung in unseren ISO9000 zertifizierten Fertigungsstätten her. Unsere hohe Produktionskapazität stellt jederzeit die weltweite Verfügbarkeit unserer Produkte sicher.