封じ込めシステム

• FB - 流体シール・BIBO型（バグイン/バグアウト)
• GB - ガスケットシール・BIBO型
• FN - 流体シール・サイドアクセス・非BIBO型
• GN - ガスケットシール・サイドアクセス・非BIBO型
• PB プレフィルタ - 封じ込めBIBO
• FB-R Round - BIBO・トップアクセス
• Pharmatain - 有害物質除去システム（壁面設置タイプ/独立タイプ）
• CamContain
• CamSafe

吸着装置

•  Hega - プラスチックフレーム高効率ガス吸着装置

ダンパー

• Isolation Damper Rectangular -　バブルタイト
• Isolation Damper Round - バブルタイト
  

• Test Section - 全体効率＆スキャン効率