マイクロエレクトロニクス

高度な生産方式では、非常に清浄な空気が必要とされる場合があります。また、多くの
場合、求められる清浄度はさらに厳しくなります。例えば、エレクトロニクス産業ではVLSI(超大規模集積回路)生産のために非常に清浄な生産環境が求められています。回路上のパターンの幅は1マイクロメータ以下で、三次元寸法の1/10 (0.1マイクロメータ)以下にまで粒子汚染を制御する必要があります。

フィルタはいわば、クリーンルームにとっての「心臓部」です。部屋の分類、フィルタの選択、フィルタが部屋全体に及ぼす影響など多方面からのアプローチが必要とされます。

カムフィルファーは、マイクロエレクトロニクス産業用における高性能フィルタ製品のメインサプライヤーとして知られています。当社のHEPA/ULPAフィルタはISO 9000認定工場の制御環境内で生産されています。各種フィルタは世界各国の拠点で同様のものが生産可能で、その世界的な生産能力はお客様のビジネスにも大きく貢献します。