L’organisme européen de normalisation a produit la norme EN 1822 pour la classification et les tests des filtres HEPA et ULPA en fonction de l’efficacité des filtres à la taille de la particule la plus pénétrante MPPS (Most Penetrating Particle Size).
Les tests de conformités à la norme EN 1822 s’effectuent normalement avec une sonde de prélèvement d'aérosol qui se déplace sur toute la surface du filtre. Ce déplacement de la sonde, ou balayage (scanning), permet de mesurer en plusieurs points l’efficacité de filtrage. Ces données servent à calculer l’efficacité globale du filtre ou le « taux de fuite » d’une zone donnée du filtre. Le calcul de l’efficacité globale est souvent appelé valeur intégrale, alors que le taux de fuite est appelé valeur locale.
Le tableau suivant indique les différentes classes des filtres à très haute efficacité conformément à EN 1822 :
| Valeur intégrale | Valeur locale | |||
|
Classe de filtre |
Efficacité de filtration % | Pénétration % | Efficacité de filtration % | Pénétration % |
| H10 | 85 | 15 | - | - |
| H11 | 95 | 5 | - | - |
| H12 | 99.5 | 0.5 | - | - |
| H13 | 99.95 | 0.05 | 99.75 | 0.25 |
| H14 | 99.995 | 0.005 | 99.975 | 0.025 |
| U15 | 99.9995 | 0.0005 | 99.9975 | 0.0025 |
| U16 | 99.99995 | 0.00005 | 99.99975 | 0.00025 |
| U17 | 99.999995 | 0.000005 | 99.9999 | 0.0001 |
Les essais sont effectués sur des filtres neufs au débit volumétrique nominal. Les filtres de classe U15 ou supérieure doivent être balayés avec une sonde à compteur à particules adapté. La méthode d'essai au brouillard d’huile peut être utilisé pour les filtres de classe H13 et H14.
Le test des filtres inclut les mesures suivantes :
1. perte de charge au débit d’air nominal
2. efficacité globale de filtration à la taille de particule la plus pénétrante (MPPS)
3. efficacités locales de filtration à la MPPS
4. absence de fuites pour les efficacités au-delà de H13 comme indiqué dans le tableau ci-dessus
Camfil Farr fabrique les filtres Megalam (HEPA/ULPA) conformément aux normes les plus rigoureuses de l’industrie et/ou des clients. Nous testons également le dégasage des éléments bruts, telles que les composés organophosphorés des luts en polyuréthane (PU). Les sphères pleines en latex ou en silice sont généralement choisies pour faire office d’aérosols tests au sein de l’industrie microélectronique en raison de leurs propriétés de faible dégasage. Camfil Farr mène une politique d’amélioration continue de ses produits afin d’assurer sa place de leader sur le marché de la filtration à haut rendement. Nous menons en association avec nos fournisseurs principaux des programmes extensifs de R et D visant à développer et à tester la prochaine génération de médias de filtration. Ces efforts nous permettent d’offrir à nos clients les produits de filtration les plus performants afin de satisfaire aux exigences des technologies émergentes.
Camfil Farr fut le premier fabricant à proposer des filtres ULPA de classe U17 utilisant des médias à faible teneur en bore. Nous fabriquons également des filtres e-PTFE de classe U15 et supérieures.