Gigalam-Panelfilter sind Kombinationsprodukte, die besonders für Miniumgebungen und Prozesswerkzeuganwendungen entwickelt wurden. Ein ULPA-Filter mit üblichem Glas-, niedrig boriertem oder PTFE-Medium wird mit einfachen oder mehrfachen Lagen von Gigapleat-Medien kombiniert.
Die Größen werden entsprechend der spezifischen Prozess-ausrüstung bemessen. Wegen ihrer kompakten Form werden Camfil Farr Gigalam-Filter oft anstelle der ursprünglichen Partikelfilter eingesetzt.
Die Vorteile des Camfil Farr Gigalam:
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Sehr kleiner Formfaktor - oft gleich groß wie Partikelfiltration
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Zur Auswahl stehen Standard-, niedrig borierte
oder PTFE-Partikelmedien -
Verschiedene Gigapleat-Medien
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Niedriger Druckabfall
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Hohe Mediensauberkeit
SEMATECH empfiehlt den Einsatz von e-PTFE oder niedrig borierten ULPA-Filtern in Miniumgebungsausrüstungen. Camfil Farr's Gigalam können mit einer Gesamthöhe von weniger als 10 cm hergestellt werden; kundenspezifische Lösungen sind ebenfalls erhältlich
Weitere Molekularfilter für Reinluftprozesse:
Gigapleat NXPH
Gigapleat NXPP
Gigapleat NXPC
Gigapleat XPC