Painel Gigalam

Os painéis de filtro Gigalam são produtos combinados especialmente desenvolvidos para mini ambientes e em aplicações para ferramentas de processos. Um filtro ULPA com meio filtrante padrão de microfibra de vidro, meio filtrante de baixo boro ou de PTFE é combinado com simples ou múltiplas camadas de meios filtrantes de Gigapleat.

Os tamanhos são sob encomenda para se ajustarem a peças específicas do equipamento do processo. O formato compacto dos filtros Gigalam da Camfil Farr significa que eles freqüentemente podem ser instalados no mesmo espaço do filtro de partículas original.

O Gigalam da Camfil Farr tem como características:

• Formato extremamente pequeno – com freqüência o mesmo do filtro apenas de partículas.
• Opção entre meios filtrantes padrão, de baixo boro ou de PTFE.
• Opção entre meios filtrantes Gigapleat diferentes.
• Baixa pressão diferencial.
• Alta limpeza do meio filtrante.

A SEMATECH recomenda a utilização de filtros ULPA de e-PTFE ou de baixo boro em equipamentos de mini ambientes. O Gigalam da Camfil Farr pode ser produzido com uma altura total de menos do que 4". Soluções customizadas também são disponíveis.